目前,半导体集成电路芯片(ic)发展迅猛,推动着物联网和人工智能产业的兴起。如果把ic比作人的大脑,传感器则相当于的人的感知器官,二者相互依存。但是,传感器(特别是可集成微纳传感器)的发展程度,远远滞后于ic的发展水平。因此,微纳传感器(或传感芯片)将是继ic产业之后的另一重大产业。
黄辉团队,研究了纳米线桥接生长中的寄生沉积效应,发明了一种结合气流遮挡效应与表面钝化效应的桥接生长方法,解决了寄生沉积问题;并实现了“无漏电流”的gan桥接纳米线,在此基础上研制出高稳定性、低功耗以及高灵敏度的集成纳米线气体传感器。特别是,gan材料是第三代半导体,具有优异的稳定性(耐高温、抗氧化、耐酸碱腐蚀)和生物兼容性,适用于严酷环境下的应力应变以及液体和气体样品的检测(实验证明氢氟酸腐蚀48小时未对gan纳米线产生影响),应用领域非常广泛。该技术将推动传感芯片的发展。
(原文标题:大连理工大学制备出高可靠、低功耗、高灵敏度的集成传感器)
